Sekundarionen- Und Neutralteilchenmassenspektrometrie an Oxidischen Dunnschichtsystemen: Der Einfluss Ionenbeschussindizierter Prozesse Auf Die Sekundarteilchenemission Im Zerstaubungsgleichgewicht Und an Schichtgrenzflachen by Dieter Lipinsky (Paperback / softback, 1995)

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Beispielsweise lat sich die Lebensdauer von Werkzeugen durch das Aufbringen extrem harter Nitridschichten vergroern.
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