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Entwicklung einer vakuumtauglichen Fuhrung by Marko Heyne (Paperback, 2010)

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Product Information

Die Arbeit hat die theoretischen Untersuchungen zu einer vakuumtauglichen Walzfuhrung fur den Einsatz in einem planaren Positioniersystem zum Inhalt. Vakuumbedingungen werden fur die Fertigungsprozesse der Halbleiterindustrie und fur die Reduzierung der Stoereinflusse auf die Messergebnisse benoetigt. Das planare Positioniersystem basiert auf einem elektromagnetischen Direktantrieb. Daher werden die Werkstoffe fur den Einsatz in einer Vakuumumgebung, unter starken elektromagnetischen Feldern und einer Walzbeanspruchung gewahlt. Die planare Walzfuhrung besteht aus zwei Funktionsflachen mit dazwischen angeordneten Kugeln. Ein Flachkafig fasst die Kugeln. Hinweise zur Gestaltung des Flachkafigs und des Laufers werden dargelegt. Theoretische Untersuchungen zur Wahl des optimalen Kugeldurchmessers und dem Anteil tragender Kugeln zur Gesamtanzahl der Kugeln werden durchgefuhrt. Zur Reduzierung der hohen auftretenden Hertz'schen Flachenpressung wird eine Gewichtsentlastung des Laufers und Kugel aus unterschiedlichen Werkstoffen betrachtet. Verschiedene Konzepte zum Aufbau eines Versuchsstandes zur Weiterentwicklung der Walzfuhrung werden vorgestellt.

Product Identifiers

Publisher
Vdm Verlag
ISBN-13
9783639250640
eBay Product ID (ePID)
11049023208

Product Key Features

Author
Marko Heyne
Publication Name
Entwicklung Einer Vakuumtauglichen Fuhrung
Format
Paperback
Language
German
Subject
Engineering & Technology
Publication Year
2010
Type
Textbook
Number of Pages
116 Pages

Dimensions

Item Height
229mm
Item Width
152mm
Item Weight
181g

Additional Product Features

Title_Author
Marko Heyne
Country/Region of Manufacture
Germany

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